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| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池 |
采用磁控型電極,大限度地減輕對樣品的損壞。
離子濺射儀 MC1000特色
離子濺射儀 MC1000規格
| 項目 | 說明 | |
|---|---|---|
| 放電 | 類型 | 磁控二極管放電型(電場垂直于磁場) |
| 電極組成 | 反向平行盤(嵌入磁鐵) | |
| 電壓 | 大 0.4 kV DC(直流可變) | |
| 電流 | 大 40 mA DC | |
| 噴鍍速率 *1(大) [條件] 壓力:7 Pa 放電電流:40 mA 標靶與樣品表面之間的距離:20 mm | Pt 靶(選配件) | 15 nm/min |
| Pt-Pd 靶(選配件) | 20 nm/min | |
| Au 靶(選配件) | 35 nm/min | |
| Au-Pd 靶(選配件) | 25 nm/min | |
| 樣品尺寸 | 大直徑 | φ60 mm |
| 大高度 | 20 mm | |
| 機械泵 | 135/162 l/min (50/60Hz) | |
| 靶材*2 | Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4) | |
| 電源要求 | 單相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-針插頭線纜(3 m) | |
| 尺寸 | 寬度 | 450 mm |
| 長度 | 391 mm | |
| 高度 | 390 mm | |
| 重量 | 主機:約 25 kg 機械泵:約 28 kg | |
*1
: 噴鍍速率僅供參考
*2
: 主機內不包括靶材。請從選項中選擇(鉑,鉑-鈀,金,金-鈀)。
應用領域:
離子濺射儀在掃描電鏡中應用十分廣泛,通過向樣品表面噴鍍金、鉑、鈀及混合靶材等金屬消除不導電樣品的荷電現象,并提高觀測效率,另外可以使用噴碳附件對樣品進行蒸碳,實現不導電樣品的能譜儀元素定性和半定量分析。