三坐標測量儀是指在一個六面體的空間范圍內，能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又可定義“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統（如光柵尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點（x，y，z）及各項功能測量的儀器”。測量功能包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。
三坐標測量儀是一種高精度的計量設備，為了保持其持續的高精度，需要針對安裝環境的溫度進行補償，這同時，測量機各部件溫度特性也是一項重要指標。滿足了工件質量過程控制，可同客戶自動化加工生產系統進行信息交互。系統集成了自動化料線/工業機器人、機器抓手、自動化夾具、自動識別裝置等，提供了檢測效率。
檢測過程待檢零件的通知、零件送檢傳輸、測量機的上、下料及檢測后的零件分流等全部過程自動化，獨立檢測系統進行工件自動化檢測，提高檢測效率。同時在工件加工生產過程中進行工件的自動檢測，滿足工件質量過程控制，提高檢測效率和檢測頻次。
三坐標測量儀還有比較大的逆向工程的工作能力，也是一種比較理性的數字化的使用工具。由于測量機的精度更高，有助于進行工件評估，還因為掃描能夠提供比其它測量機的單點測量更詳細的幾何形狀、形式和尺寸信息，再有測量機還可以與接觸式和非接觸式掃描測頭進行組合，如果與測量軟件相結合使用，還可以具有比較強大的掃描的功能，可以完成一些比較復雜的工件與模型的復制，而其實直接的進入程序，在這種情況下會使生產效率得到提高。
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