超聲波顯微鏡利用高頻超聲波(大于10MHZ)探測物體體內結構缺陷,屬于定性分析。主要使用于封裝內部結構的分析,因為它能提供IC封裝因水氣或熱能所造成破壞分析,例如裂縫、空洞和脫層。內部造影原理為電能經由聚焦轉換鏡產生超聲波觸擊在待測物品上,將聲波在不同接口上反射或穿透訊號接收后影像處理,再以影像及訊號加以分析。
頻率高于20KHz的聲波被稱為超聲波。超聲波掃描顯微鏡是理想的無損檢測方式,廣泛的應用在物料檢測(IQC)、失效分析(FA)、質量控制(QC)、質量保證及可靠性(QA/REL)、研發(R&D)等領域。檢測電子元器件、LED、金屬基板的分層、裂紋等缺陷(裂紋、分層、空洞等);通過圖像對比度判別材料內部聲阻抗差異、確定缺陷形狀和尺寸、確定缺陷方位。
超聲波顯微鏡的特點在于能夠精確的反映出聲波和微小樣品的彈性介質之間的相互作用,并對從樣品內部反饋回來的信號進行分析。圖像上(C-Scan)的每一個象素對應著從樣品內某一特定深度的一個二維空間坐標點上的信號反饋,具有良好聚焦功能的Z.A傳感器同時能夠發射和接收聲波信號。一副完整的圖像就是這樣逐點逐行對樣品掃描而成的。反射回來的超聲波被附加了一個正的或負的振幅,這樣就可以用信號傳輸的時間反映樣品的深度。用戶屏幕上的數字波形展示出接收到的反饋信息(A-Scan)。設置相應的門電路,用這種定量的時間差測量(反饋時間顯示),就可以選擇您所要觀察的樣品深度和范疇。
主要應用領域:
半導體電子行業:半導體晶圓片、封裝器件、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等;材料行業:復合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等;生物醫學:活體細胞動態研究、骨骼、血管的研究等。