型號：

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Oxford RIE反應離子刻蝕機PlasmaPro 80是一種結構緊湊、小尺寸且使用方便的直開式系統，可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。 它易于放置，便于使用，且能確保工藝性能。直開式設計可實現快速晶圓裝卸，是研究和小批量生產的理想選擇。 它通過優化的電極冷卻和出色的襯底溫度控制來實現高質量的工藝。

型號：AX-LS100

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AXISTEC激光晶圓劃片機，采用高精度激光，形成極小的光點，因其非接觸式加工，對工件本身無機械沖壓力，工件不易變形，且熱影響極小，激光壽命長，搭配高精度平移臺，使得劃片精度高，速度快，成本更低。

型號：AutoMATE5000

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高精度光電自準直儀是一種用于檢測平面反射鏡微小角度變化的光學測量儀器，從功能上理解，自準直儀是將準直儀 （或平行光管）和準直望遠鏡結合為一體的一臺儀器。自準直儀通常由光源、分劃板、分光鏡、物鏡以及望遠接收部分構成（參見以上示意圖），光學自準直儀的望遠接收部分由分劃板和目鏡組成，通過人眼觀測并結合機械測微裝置完成測量，光電自準直儀的望遠接收部分則由光電傳感器完成接收和測量。